一种便携式光学表面轮廓仪
一种便携式光学表面轮廓仪摘要：研究了一种基于短相干光相移干涉法的便携式光学表面轮廓仪，分析了短相干光干涉显
微镜相移干涉技术，实现了基于该项技术的光干涉显微系统。采用光路集成化的设计方法，实
现了一体化轮廓仪光路集成，优化了机械三维调整测量台，实现了可用于大、小口径元件表面测
量的正置、倒置两种测量模式。测试结果表明，仪器的粗糙度测量精度为0．1 nm，重复性误差优
于0．01 nm，横向分辨率优于1肚m。
关键词：短相干光相移干涉；表面轮廓；干涉显微镜；粗糙度
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