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标题:
一种便携式光学表面轮廓仪
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作者:
杨利霞
时间:
2021-3-10 15:14
标题:
一种便携式光学表面轮廓仪
一种便携式光学表面轮廓仪
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摘要:研究了一种基于短相干光相移干涉法的便携式光学表面轮廓仪,分析了短相干光干涉显
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微镜相移干涉技术,实现了基于该项技术的光干涉显微系统。采用光路集成化的设计方法,实
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现了一体化轮廓仪光路集成,优化了机械三维调整测量台,实现了可用于大、小口径元件表面测
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量的正置、倒置两种测量模式。测试结果表明,仪器的粗糙度测量精度为0.1 nm,重复性误差优
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于0.01 nm,横向分辨率优于1肚m。
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关键词:短相干光相移干涉;表面轮廓;干涉显微镜;粗糙度
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一种便携式光学表面轮廓仪.pdf
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