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标题: 一种便携式光学表面轮廓仪 [打印本页]
作者: 杨利霞    时间: 2021-3-10 15:14
标题: 一种便携式光学表面轮廓仪
一种便携式光学表面轮廓仪
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' ?0 Y  D2 P" p7 X5 V; k- X& r摘要：研究了一种基于短相干光相移干涉法的便携式光学表面轮廓仪，分析了短相干光干涉显
2 @) s9 y- R# D0 Q微镜相移干涉技术，实现了基于该项技术的光干涉显微系统。采用光路集成化的设计方法，实
) \" u' j9 n# }5 A6 u2 P0 A现了一体化轮廓仪光路集成，优化了机械三维调整测量台，实现了可用于大、小口径元件表面测
- N. \- i) @) }6 D9 n( m6 d量的正置、倒置两种测量模式。测试结果表明，仪器的粗糙度测量精度为0．1 nm，重复性误差优" f4 u2 w) _$ x7 o! }
于0．01 nm，横向分辨率优于1肚m。
2 u4 O$ p$ H* j: y( I关键词：短相干光相移干涉；表面轮廓；干涉显微镜；粗糙度5 `& _2 S4 y* [, \
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