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标题: 一种便携式光学表面轮廓仪 [打印本页]
作者: 杨利霞    时间: 2021-3-10 15:14
标题: 一种便携式光学表面轮廓仪
一种便携式光学表面轮廓仪
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# m, B+ q" ^% z$ N* }0 @! p4 C  ^% k" \
# s' N- e( [/ F) L摘要：研究了一种基于短相干光相移干涉法的便携式光学表面轮廓仪，分析了短相干光干涉显# L, `5 g. Z; @
微镜相移干涉技术，实现了基于该项技术的光干涉显微系统。采用光路集成化的设计方法，实( Q, e' A0 Y, M. f2 m$ O" W8 y
现了一体化轮廓仪光路集成，优化了机械三维调整测量台，实现了可用于大、小口径元件表面测. P) W% G/ U! ^7 c6 L) X$ A4 p
量的正置、倒置两种测量模式。测试结果表明，仪器的粗糙度测量精度为0．1 nm，重复性误差优
7 A" U1 l  h; a) F于0．01 nm，横向分辨率优于1肚m。
) |# r2 o" I  [: B% {) C& q关键词：短相干光相移干涉；表面轮廓；干涉显微镜；粗糙度7 j4 O2 L3 O/ g
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