数学建模社区-数学中国

标题: 一种便携式光学表面轮廓仪 [打印本页]

作者: 杨利霞    时间: 2021-3-10 15:14
标题: 一种便携式光学表面轮廓仪
一种便携式光学表面轮廓仪

# |8 o+ a. e" ~! n8 @) Y$ [. v3 C
$ W1 O2 m2 S0 b7 \' B+ ?: \1 @7 f  N3 K. b8 v! m$ o
摘要:研究了一种基于短相干光相移干涉法的便携式光学表面轮廓仪,分析了短相干光干涉显8 ^& \$ K+ `) D9 p5 b
微镜相移干涉技术,实现了基于该项技术的光干涉显微系统。采用光路集成化的设计方法,实/ q* E5 Q1 L& u/ W" I% v+ i
现了一体化轮廓仪光路集成,优化了机械三维调整测量台,实现了可用于大、小口径元件表面测2 K) k) y* n# u4 E* U7 L" X
量的正置、倒置两种测量模式。测试结果表明,仪器的粗糙度测量精度为0.1 nm,重复性误差优
$ @; i7 S- U. d" ]. t0 x于0.01 nm,横向分辨率优于1肚m。
, F, }0 Q5 d. D) j: L( M) r关键词:短相干光相移干涉;表面轮廓;干涉显微镜;粗糙度: X1 ]3 b* R1 ?4 M/ F

( s' R4 b2 y' b' L4 K- ]
2 `$ o/ G; }7 T$ _6 n3 |, o

一种便携式光学表面轮廓仪.pdf

3.07 MB, 下载次数: 0, 下载积分: 体力 -2 点

售价: 1 点体力  [记录]  [购买]






欢迎光临 数学建模社区-数学中国 (http://www.madio.net/) Powered by Discuz! X2.5