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标题: 接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制 [打印本页]
作者: 杨利霞    时间: 2021-3-10 15:58
标题: 接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制
接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制
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: H& q( D0 W+ |+ M/ ^, l
. \; |. H. ?1 N3 e$ y摘要：针对接触式轮廓仪存在的探针沾污、探针缺陷、扫描位置不准的问题，采用半导体工艺技
8 T7 C) C! \! J4 N) z/ R( H术在硅晶圆片上制备出探针状态检查样块。该样块具有探针沾污及缺陷检查图形和探针扫描位置
- g- j% ^/ l5 T检查图形，可实现探针针尖１０个位置沾污和缺陷的检查以及偏移量为－１５０～１５０μｍ 内探针扫
; g2 g+ t( m4 s5 ?6 p, M描位置的检查。使用探针状态检查样块对一台型号为 Ｐ－６的接触式轮廓仪进行了检查，实验结
  ]/ i8 V) R# z) f果表明：该样块能够准确判断出轮廓仪存在探针缺陷和扫描位置不准的问题，进而有助于接触式
* P! E" Q+ E' x3 J( B- {- P$ h; V轮廓仪探针的故障检查和维修。
7 k5 U+ b- \1 ^2 O' N% r, r; H! W- Q关键词：轮廓仪；探针沾污；探针缺陷；扫描位置；检查图形
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