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标题:
接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制
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作者:
杨利霞
时间:
2021-3-10 15:58
标题:
接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制
接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制
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摘要:针对接触式轮廓仪存在的探针沾污、探针缺陷、扫描位置不准的问题,采用半导体工艺技
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术在硅晶圆片上制备出探针状态检查样块。该样块具有探针沾污及缺陷检查图形和探针扫描位置
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检查图形,可实现探针针尖10个位置沾污和缺陷的检查以及偏移量为-150~150μm 内探针扫
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描位置的检查。使用探针状态检查样块对一台型号为 P-6的接触式轮廓仪进行了检查,实验结
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果表明:该样块能够准确判断出轮廓仪存在探针缺陷和扫描位置不准的问题,进而有助于接触式
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轮廓仪探针的故障检查和维修。
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关键词:轮廓仪;探针沾污;探针缺陷;扫描位置;检查图形
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