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标题: 接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制 [打印本页]
作者: 杨利霞    时间: 2021-3-10 15:58
标题: 接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制
接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制
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+ f% b) Y5 B4 \+ y8 D5 s
3 d. @9 l8 F$ g. F+ E; D5 h0 @摘要：针对接触式轮廓仪存在的探针沾污、探针缺陷、扫描位置不准的问题，采用半导体工艺技3 H/ _: [$ s3 S# a* \* k- K8 y4 q
术在硅晶圆片上制备出探针状态检查样块。该样块具有探针沾污及缺陷检查图形和探针扫描位置* o9 ^! Q4 v4 I6 b2 V6 V
检查图形，可实现探针针尖１０个位置沾污和缺陷的检查以及偏移量为－１５０～１５０μｍ 内探针扫4 p, S# ]8 M0 `2 l
描位置的检查。使用探针状态检查样块对一台型号为 Ｐ－６的接触式轮廓仪进行了检查，实验结
; d# V2 p$ M4 P果表明：该样块能够准确判断出轮廓仪存在探针缺陷和扫描位置不准的问题，进而有助于接触式
! i% Y& ~; `6 J* N& V. A  [轮廓仪探针的故障检查和维修。
5 |* C" ^) E/ h  E  {关键词：轮廓仪；探针沾污；探针缺陷；扫描位置；检查图形
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