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标题: 接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制 [打印本页]
作者: 杨利霞    时间: 2021-3-10 15:58
标题: 接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制
接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制
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摘要：针对接触式轮廓仪存在的探针沾污、探针缺陷、扫描位置不准的问题，采用半导体工艺技' l/ y3 x5 f. z2 k
术在硅晶圆片上制备出探针状态检查样块。该样块具有探针沾污及缺陷检查图形和探针扫描位置7 p1 M( I) ^+ T9 t3 W& k) M
检查图形，可实现探针针尖１０个位置沾污和缺陷的检查以及偏移量为－１５０～１５０μｍ 内探针扫
9 ~5 ^8 j0 D5 D, }, L: ?描位置的检查。使用探针状态检查样块对一台型号为 Ｐ－６的接触式轮廓仪进行了检查，实验结9 \/ D( t: s, P! u
果表明：该样块能够准确判断出轮廓仪存在探针缺陷和扫描位置不准的问题，进而有助于接触式
6 y. m& C) O% R/ u8 \轮廓仪探针的故障检查和维修。
' p! I; s) D" v7 `' u: y/ a关键词：轮廓仪；探针沾污；探针缺陷；扫描位置；检查图形8 u' K" y' [8 ]  E% d; P+ y: h5 e
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