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标题: 接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制 [打印本页]
作者: 杨利霞    时间: 2021-3-10 15:58
标题: 接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制
接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制
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5 A% C# T0 C2 J; X- |摘要：针对接触式轮廓仪存在的探针沾污、探针缺陷、扫描位置不准的问题，采用半导体工艺技0 ?% W8 j( N$ r2 r! n: B+ p
术在硅晶圆片上制备出探针状态检查样块。该样块具有探针沾污及缺陷检查图形和探针扫描位置4 E" u+ O" _6 |' E% P
检查图形，可实现探针针尖１０个位置沾污和缺陷的检查以及偏移量为－１５０～１５０μｍ 内探针扫" U  k! O, ^7 ^  `; H4 d5 y+ x
描位置的检查。使用探针状态检查样块对一台型号为 Ｐ－６的接触式轮廓仪进行了检查，实验结. d' w* F/ Z9 }
果表明：该样块能够准确判断出轮廓仪存在探针缺陷和扫描位置不准的问题，进而有助于接触式
% v0 t) w. T1 {" i轮廓仪探针的故障检查和维修。
( o+ Q8 H4 h- a关键词：轮廓仪；探针沾污；探针缺陷；扫描位置；检查图形0 S  I; }, |2 G+ o

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