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标题: 接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制 [打印本页]
作者: 杨利霞    时间: 2021-3-10 15:58
标题: 接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制
接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制7 \; I5 I" T  l' n1 N

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摘要：针对接触式轮廓仪存在的探针沾污、探针缺陷、扫描位置不准的问题，采用半导体工艺技
& |! u4 p  ]! U/ y5 Z. n. R8 U% W术在硅晶圆片上制备出探针状态检查样块。该样块具有探针沾污及缺陷检查图形和探针扫描位置+ N$ }$ B' L' F
检查图形，可实现探针针尖１０个位置沾污和缺陷的检查以及偏移量为－１５０～１５０μｍ 内探针扫
2 f) r+ t/ l. V. v% b' i3 x描位置的检查。使用探针状态检查样块对一台型号为 Ｐ－６的接触式轮廓仪进行了检查，实验结8 {+ |7 q! F2 m, [
果表明：该样块能够准确判断出轮廓仪存在探针缺陷和扫描位置不准的问题，进而有助于接触式" Y' `* ^# Z: U- K0 z
轮廓仪探针的故障检查和维修。
: d( G+ W$ }1 `' |关键词：轮廓仪；探针沾污；探针缺陷；扫描位置；检查图形
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