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标题: 接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制 [打印本页]
作者: 杨利霞    时间: 2021-3-10 15:58
标题: 接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制
接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制
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1 i' l5 \) b0 e- i7 ]8 y' y% F  g2 a% M2 I5 z
摘要：针对接触式轮廓仪存在的探针沾污、探针缺陷、扫描位置不准的问题，采用半导体工艺技  `7 \& a, ~$ B7 t
术在硅晶圆片上制备出探针状态检查样块。该样块具有探针沾污及缺陷检查图形和探针扫描位置, _  n6 B% ^% @* E
检查图形，可实现探针针尖１０个位置沾污和缺陷的检查以及偏移量为－１５０～１５０μｍ 内探针扫  {4 z6 V5 P# v3 q$ R* R
描位置的检查。使用探针状态检查样块对一台型号为 Ｐ－６的接触式轮廓仪进行了检查，实验结1 ^1 f7 ]6 p6 I( Y1 X8 D2 {
果表明：该样块能够准确判断出轮廓仪存在探针缺陷和扫描位置不准的问题，进而有助于接触式. c- F2 E2 L7 q1 _2 U+ _
轮廓仪探针的故障检查和维修。$ L4 ~  ]2 P+ `2 h3 ~& X
关键词：轮廓仪；探针沾污；探针缺陷；扫描位置；检查图形, c% n+ Z- y; ?3 L3 G$ o# |4 |, W

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