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标题: 接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制 [打印本页]
作者: 杨利霞    时间: 2021-3-10 15:58
标题: 接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制
接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制: @& t" o3 ^  Q& q0 [
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" h: h7 v+ k% H* f摘要：针对接触式轮廓仪存在的探针沾污、探针缺陷、扫描位置不准的问题，采用半导体工艺技
. g# y, b% t  P术在硅晶圆片上制备出探针状态检查样块。该样块具有探针沾污及缺陷检查图形和探针扫描位置4 L' ]5 s1 B6 H, v% U0 V
检查图形，可实现探针针尖１０个位置沾污和缺陷的检查以及偏移量为－１５０～１５０μｍ 内探针扫
3 u& e) X% I$ m0 w, d% A' z! |8 r% U描位置的检查。使用探针状态检查样块对一台型号为 Ｐ－６的接触式轮廓仪进行了检查，实验结$ N2 z8 U' {2 X2 W
果表明：该样块能够准确判断出轮廓仪存在探针缺陷和扫描位置不准的问题，进而有助于接触式9 }9 E& I/ a2 R. m: f3 @
轮廓仪探针的故障检查和维修。& b/ {# X+ q* r2 c* {, p% R& C) e
关键词：轮廓仪；探针沾污；探针缺陷；扫描位置；检查图形
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: T% L$ H- Y  O  Z: B1 A

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