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标题: 接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制 [打印本页]
作者: 杨利霞    时间: 2021-3-10 15:58
标题: 接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制
接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制
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4 E5 @! s, G) K1 E" e0 p摘要：针对接触式轮廓仪存在的探针沾污、探针缺陷、扫描位置不准的问题，采用半导体工艺技  Y7 d( b: Y" y  q6 m% j0 X
术在硅晶圆片上制备出探针状态检查样块。该样块具有探针沾污及缺陷检查图形和探针扫描位置
$ _5 z! @) ~- F8 d$ {2 k: ]检查图形，可实现探针针尖１０个位置沾污和缺陷的检查以及偏移量为－１５０～１５０μｍ 内探针扫
/ `: [3 l* k, w5 V0 J描位置的检查。使用探针状态检查样块对一台型号为 Ｐ－６的接触式轮廓仪进行了检查，实验结
. m2 G' ]1 ]: O$ h3 @2 i$ |3 v果表明：该样块能够准确判断出轮廓仪存在探针缺陷和扫描位置不准的问题，进而有助于接触式
2 T1 \; L6 C) }5 d7 s# c轮廓仪探针的故障检查和维修。
7 ^( X1 C8 y! l3 ]2 @+ f3 W# W5 Z关键词：轮廓仪；探针沾污；探针缺陷；扫描位置；检查图形
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