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标题: 接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制 [打印本页]
作者: 杨利霞    时间: 2021-3-10 15:58
标题: 接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制
接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制" @' j/ F. f0 o( t! _% Q
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. L: D# L9 n" ]- N: [4 |摘要：针对接触式轮廓仪存在的探针沾污、探针缺陷、扫描位置不准的问题，采用半导体工艺技! G9 z# d' Y  {4 Z9 V3 A" P; f! w
术在硅晶圆片上制备出探针状态检查样块。该样块具有探针沾污及缺陷检查图形和探针扫描位置
: c9 \& a3 N5 ~, U1 a, N检查图形，可实现探针针尖１０个位置沾污和缺陷的检查以及偏移量为－１５０～１５０μｍ 内探针扫
. J" A  y7 e. j- b1 `' O描位置的检查。使用探针状态检查样块对一台型号为 Ｐ－６的接触式轮廓仪进行了检查，实验结7 O7 j1 g3 o- ^" v5 w# e. {$ S, g
果表明：该样块能够准确判断出轮廓仪存在探针缺陷和扫描位置不准的问题，进而有助于接触式
) o+ F8 g/ ]& F  _9 L5 _轮廓仪探针的故障检查和维修。
8 ]6 v5 Y* p- k关键词：轮廓仪；探针沾污；探针缺陷；扫描位置；检查图形
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