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标题: 接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制 [打印本页]
作者: 杨利霞    时间: 2021-3-10 15:58
标题: 接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制
接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制
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摘要：针对接触式轮廓仪存在的探针沾污、探针缺陷、扫描位置不准的问题，采用半导体工艺技$ ~8 K: f3 ^! l6 D1 j* C+ q
术在硅晶圆片上制备出探针状态检查样块。该样块具有探针沾污及缺陷检查图形和探针扫描位置% c8 l# W. S: l$ v3 v
检查图形，可实现探针针尖１０个位置沾污和缺陷的检查以及偏移量为－１５０～１５０μｍ 内探针扫
) r8 G' }, C! P) @- {. m0 Z& X描位置的检查。使用探针状态检查样块对一台型号为 Ｐ－６的接触式轮廓仪进行了检查，实验结$ Y' K9 e. K% C1 C
果表明：该样块能够准确判断出轮廓仪存在探针缺陷和扫描位置不准的问题，进而有助于接触式9 t+ Q- I" Y& k0 l) M/ n
轮廓仪探针的故障检查和维修。. q- F. |: m) E0 `1 B
关键词：轮廓仪；探针沾污；探针缺陷；扫描位置；检查图形
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