基于解耦控制算法的 XYθ 定位平台系统研究
基于解耦控制算法的 XYθ 定位平台系统研究为减小运动定位平台
XYθ 方向的振动误差及耦合，提高平台定位精度，提出了一种基于神经
网络前馈
PID
解耦控制算法的定位平台系统设计
。
搭建了由高性能
X、Y
方向直线电机
、θ 方向力
矩电机驱动组成的大行程微米级定位平台与上位机系统，采用改进的神经网络前馈
PID
解耦控制
算法对运动定位平台进行定位补偿，通过传感器实时反馈定位系统终端位置，实现定位平台闭环反
馈控制
。MATLAB
仿真及实验结果表明，改进的控制算法实现了平台的解耦控制，可较好地完成多
轴同步控制，提高系统的动态与稳态性能
。
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