基于解耦控制算法的 XYθ 定位平台系统研究

杨利霞

基于解耦控制算法的

XYθ

定位平台系统研究

1 _5 [2 s# i( `9 m# y, z9 P为减小运动定位平台
XYθ 方向的振动误差及耦合，提高平台定位精度，提出了一种基于神经
! ^' x- v0 i0 E" _3 _# v网络前馈
PID
( f9 O7 y& z' D解耦控制算法的定位平台系统设计
。
搭建了由高性能
+ j3 J5 v3 j) u5 C! q; A! BX、Y
# c+ h% b$ s3 N4 w方向直线电机
、θ 方向力
矩电机驱动组成的大行程微米级定位平台与上位机系统，采用改进的神经网络前馈
! `" F; j- I. N/ q, qPID
解耦控制
: ~( |/ S, ~! i. w) d1 u算法对运动定位平台进行定位补偿，通过传感器实时反馈定位系统终端位置，实现定位平台闭环反
+ \- d% }1 S' n4 R4 q1 t# D* w0 _8 G馈控制
。MATLAB
4 O# {5 j; d3 I8 @5 V仿真及实验结果表明，改进的控制算法实现了平台的解耦控制，可较好地完成多
) @+ Z1 A4 ^+ l( T  M轴同步控制，提高系统的动态与稳态性能
。
" S7 V  M0 ~8 J+ E0 q