基于解耦控制算法的 XYθ 定位平台系统研究

杨利霞

基于解耦控制算法的

XYθ

定位平台系统研究

5 X  C3 q6 N& A% v, a1 E( m6 F
3 {! _: S9 ~9 m为减小运动定位平台
& }8 Z' v: y! E$ b) C  fXYθ 方向的振动误差及耦合，提高平台定位精度，提出了一种基于神经
/ ], V: }7 }7 z3 J: ]6 l3 q网络前馈
+ J5 G- o8 Y2 |) p! tPID
( o' a5 X( X& v/ `解耦控制算法的定位平台系统设计
。
搭建了由高性能
X、Y
  _: j1 X+ c! D7 F- a( g方向直线电机
、θ 方向力
矩电机驱动组成的大行程微米级定位平台与上位机系统，采用改进的神经网络前馈
9 D* W/ H8 [- n' r$ ?PID
解耦控制
算法对运动定位平台进行定位补偿，通过传感器实时反馈定位系统终端位置，实现定位平台闭环反
- J' [. m1 V/ h8 b# t  Q馈控制
" T) E2 g% y. }  c3 K。MATLAB
仿真及实验结果表明，改进的控制算法实现了平台的解耦控制，可较好地完成多
, \& t4 r# p& e# |& D/ q轴同步控制，提高系统的动态与稳态性能
: Y0 {6 |  w! Y/ d+ W5 G。

9 M' X; i* q+ x! O% X; f4 b) k
+ f9 j5 x! q0 c/ q! F8 I6 U9 i