基于解耦控制算法的 XYθ 定位平台系统研究

杨利霞

基于解耦控制算法的

XYθ

定位平台系统研究

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6 ?, z+ b$ S7 O) o, g" T为减小运动定位平台
7 x: v6 `/ ^+ x  {9 b' m* aXYθ 方向的振动误差及耦合，提高平台定位精度，提出了一种基于神经
2 e8 v& U9 n& p$ |$ m5 _( K网络前馈
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4 Z; x9 q1 R6 ?4 o解耦控制算法的定位平台系统设计
" ?" R+ c! K* U1 o( a2 N。
搭建了由高性能
$ `' A& |0 \, R& TX、Y
- U/ _# V* a$ ^$ j方向直线电机
、θ 方向力
, r8 ^; C# W0 s% x. ^# Z) }* K矩电机驱动组成的大行程微米级定位平台与上位机系统，采用改进的神经网络前馈
3 a, \9 `) s$ N. m# P( o) D8 M- jPID
解耦控制
算法对运动定位平台进行定位补偿，通过传感器实时反馈定位系统终端位置，实现定位平台闭环反
馈控制
。MATLAB
仿真及实验结果表明，改进的控制算法实现了平台的解耦控制，可较好地完成多
轴同步控制，提高系统的动态与稳态性能
9 w7 m  l  J: a# j: w, P! f& k。
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