一种便携式光学表面轮廓仪

杨利霞

一种便携式光学表面轮廓仪

# E* {: |% k, c. C& O# a( v3 e$ u
/ ]# g: P% ]6 V, f) t9 F! R/ m! U+ Q5 M摘要：研究了一种基于短相干光相移干涉法的便携式光学表面轮廓仪，分析了短相干光干涉显
微镜相移干涉技术，实现了基于该项技术的光干涉显微系统。采用光路集成化的设计方法，实
' c2 S0 h7 e/ j) f+ W9 p0 k现了一体化轮廓仪光路集成，优化了机械三维调整测量台，实现了可用于大、小口径元件表面测
量的正置、倒置两种测量模式。测试结果表明，仪器的粗糙度测量精度为0．1 nm，重复性误差优
于0．01 nm，横向分辨率优于1肚m。
关键词：短相干光相移干涉；表面轮廓；干涉显微镜；粗糙度
/ R! ~. ~8 |- L+ B0 _4 p. l1 }& e1 w, v
6 d8 l: p; _# a) P# v& R+ P! V9 B