- 在线时间
- 1630 小时
- 最后登录
- 2024-1-29
- 注册时间
- 2017-5-16
- 听众数
- 82
- 收听数
- 1
- 能力
- 120 分
- 体力
- 563412 点
- 威望
- 12 点
- 阅读权限
- 255
- 积分
- 174246
- 相册
- 1
- 日志
- 0
- 记录
- 0
- 帖子
- 5313
- 主题
- 5273
- 精华
- 3
- 分享
- 0
- 好友
- 163
TA的每日心情 | 开心 2021-8-11 17:59 |
|---|
签到天数: 17 天 [LV.4]偶尔看看III 网络挑战赛参赛者 网络挑战赛参赛者 - 自我介绍
- 本人女,毕业于内蒙古科技大学,担任文职专业,毕业专业英语。
 群组: 2018美赛大象算法课程 群组: 2018美赛护航培训课程 群组: 2019年 数学中国站长建 群组: 2019年数据分析师课程 群组: 2018年大象老师国赛优 |
接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制
7 h: I! [; X) b c8 y. B% e
( F' W n$ D. y! ]0 Z. c6 c5 u% v4 Z9 E2 a) `4 ?* Q
摘要:针对接触式轮廓仪存在的探针沾污、探针缺陷、扫描位置不准的问题,采用半导体工艺技
8 |1 d/ v H0 O( S1 k1 W, y/ H术在硅晶圆片上制备出探针状态检查样块。该样块具有探针沾污及缺陷检查图形和探针扫描位置
* E( L8 q) Q5 e" s0 v$ D" O& x3 d检查图形,可实现探针针尖10个位置沾污和缺陷的检查以及偏移量为-150~150μm 内探针扫* I( \5 F" B0 C; j7 A- r3 Y% v
描位置的检查。使用探针状态检查样块对一台型号为 P-6的接触式轮廓仪进行了检查,实验结' o: i& t/ [5 H
果表明:该样块能够准确判断出轮廓仪存在探针缺陷和扫描位置不准的问题,进而有助于接触式
* p2 L7 ]; U2 a# Z: S1 o, v. E轮廓仪探针的故障检查和维修。
5 E9 V& L8 x. n9 @/ p关键词:轮廓仪;探针沾污;探针缺陷;扫描位置;检查图形# l9 c3 c* E- n
) @' s; x# m% K$ s v& O& l, T
( g0 {' F/ s- h* S* d
|
zan
|