接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制

杨利霞

接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制

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摘要：针对接触式轮廓仪存在的探针沾污、探针缺陷、扫描位置不准的问题，采用半导体工艺技
% a0 S- c* m7 f$ s* l* I术在硅晶圆片上制备出探针状态检查样块。该样块具有探针沾污及缺陷检查图形和探针扫描位置
  X' A0 g; V5 m" V: S; ^6 I: q% \检查图形，可实现探针针尖１０个位置沾污和缺陷的检查以及偏移量为－１５０～１５０μｍ 内探针扫
8 i. ]+ o7 X9 w1 V3 N! ^: \2 C描位置的检查。使用探针状态检查样块对一台型号为 Ｐ－６的接触式轮廓仪进行了检查，实验结
4 b6 K# Q* A  R  S; V* |6 T" |& g+ c果表明：该样块能够准确判断出轮廓仪存在探针缺陷和扫描位置不准的问题，进而有助于接触式
$ C$ L. o% F! Y% `* |/ d轮廓仪探针的故障检查和维修。
关键词：轮廓仪；探针沾污；探针缺陷；扫描位置；检查图形
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