接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制

杨利霞

接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制
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摘要：针对接触式轮廓仪存在的探针沾污、探针缺陷、扫描位置不准的问题，采用半导体工艺技
( W  H& O/ P9 @( S8 E! e术在硅晶圆片上制备出探针状态检查样块。该样块具有探针沾污及缺陷检查图形和探针扫描位置
+ p3 O/ |1 y8 K4 U5 F. C检查图形，可实现探针针尖１０个位置沾污和缺陷的检查以及偏移量为－１５０～１５０μｍ 内探针扫
: |) `! K" z9 x/ L4 f描位置的检查。使用探针状态检查样块对一台型号为 Ｐ－６的接触式轮廓仪进行了检查，实验结
+ M, [& H+ U2 p! ^( G9 t$ O( S果表明：该样块能够准确判断出轮廓仪存在探针缺陷和扫描位置不准的问题，进而有助于接触式
- Q" F, Q6 t* w, _1 _轮廓仪探针的故障检查和维修。
; J& F1 f  f7 I* u4 @8 W2 i5 C8 @关键词：轮廓仪；探针沾污；探针缺陷；扫描位置；检查图形

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