接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制

杨利霞

接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制

: d+ g6 z, v# ~, p( {
9 X8 G, z- E" n3 a3 v1 E* q5 K摘要：针对接触式轮廓仪存在的探针沾污、探针缺陷、扫描位置不准的问题，采用半导体工艺技
术在硅晶圆片上制备出探针状态检查样块。该样块具有探针沾污及缺陷检查图形和探针扫描位置
' w8 G& a" H  F4 w8 f  P检查图形，可实现探针针尖１０个位置沾污和缺陷的检查以及偏移量为－１５０～１５０μｍ 内探针扫
7 ]2 v) [, q# B描位置的检查。使用探针状态检查样块对一台型号为 Ｐ－６的接触式轮廓仪进行了检查，实验结
2 F+ o+ T) M9 H% A$ }, y果表明：该样块能够准确判断出轮廓仪存在探针缺陷和扫描位置不准的问题，进而有助于接触式
( f, q9 `$ D7 U1 i/ r/ i. a轮廓仪探针的故障检查和维修。
+ N9 }! E# [3 j关键词：轮廓仪；探针沾污；探针缺陷；扫描位置；检查图形
8 X' v3 V! i2 T6 K( n6 d& X! o! j

9 G0 U8 a* B$ Z8 ]& A, l$ U! K