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TA的每日心情 | 开心 2021-8-11 17:59 |
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签到天数: 17 天 [LV.4]偶尔看看III 网络挑战赛参赛者 网络挑战赛参赛者 - 自我介绍
- 本人女,毕业于内蒙古科技大学,担任文职专业,毕业专业英语。
 群组: 2018美赛大象算法课程 群组: 2018美赛护航培训课程 群组: 2019年 数学中国站长建 群组: 2019年数据分析师课程 群组: 2018年大象老师国赛优 |
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一种便携式光学表面轮廓仪 ; \' ?! v! x; X5 ~9 G
4 a/ ^' W; A C! G& U2 z; B
9 [4 o. _. O' d: a% C) G摘要:研究了一种基于短相干光相移干涉法的便携式光学表面轮廓仪,分析了短相干光干涉显
' c6 C5 u, H8 I" ^$ l1 {; Z2 P微镜相移干涉技术,实现了基于该项技术的光干涉显微系统。采用光路集成化的设计方法,实
9 x6 N4 N. v7 ^0 {* @$ a% m0 }7 @0 G现了一体化轮廓仪光路集成,优化了机械三维调整测量台,实现了可用于大、小口径元件表面测- T/ M" Z6 w- T( E7 P! H" [; w
量的正置、倒置两种测量模式。测试结果表明,仪器的粗糙度测量精度为0.1 nm,重复性误差优! n0 k2 a j% @* x! F
于0.01 nm,横向分辨率优于1肚m。
6 n }( k% C$ U9 ^/ W! P关键词:短相干光相移干涉;表面轮廓;干涉显微镜;粗糙度3 w/ F* l d0 z1 m9 J4 t
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