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一种便携式光学表面轮廓仪

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杨利霞        

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    开心
    2021-8-11 17:59
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    [LV.4]偶尔看看III

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    本人女,毕业于内蒙古科技大学,担任文职专业,毕业专业英语。

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    发表于 2021-3-10 15:14 |只看该作者 |倒序浏览
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    一种便携式光学表面轮廓仪
    7 J1 a( N. U/ u: g) d+ j5 h( O

    ' w' B* I2 y4 \- v, W$ i( j" ~  D* h! Z
    摘要:研究了一种基于短相干光相移干涉法的便携式光学表面轮廓仪,分析了短相干光干涉显7 ^8 w: x# n, ^8 h6 N
    微镜相移干涉技术,实现了基于该项技术的光干涉显微系统。采用光路集成化的设计方法,实7 B  r; g- c/ u3 H5 [+ |2 u, P
    现了一体化轮廓仪光路集成,优化了机械三维调整测量台,实现了可用于大、小口径元件表面测
    ! h& {+ d1 V! m& v1 ^$ G$ l量的正置、倒置两种测量模式。测试结果表明,仪器的粗糙度测量精度为0.1 nm,重复性误差优
    9 ~, m. Q( e( e& ~2 s于0.01 nm,横向分辨率优于1肚m。
    % _1 l' F; ]' ^( w关键词:短相干光相移干涉;表面轮廓;干涉显微镜;粗糙度
    , @5 B  K3 m' O" m8 y# w7 X4 u
    ! W$ P+ _( u" h& v2 z4 ^% i" Z6 A1 G% |! U& B# A7 v

    一种便携式光学表面轮廓仪.pdf

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