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接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制

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杨利霞        

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    2021-8-11 17:59
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    [LV.4]偶尔看看III

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    本人女,毕业于内蒙古科技大学,担任文职专业,毕业专业英语。

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    发表于 2021-3-10 15:58 |只看该作者 |正序浏览
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    接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制
    0 Q3 g1 l% v. N7 s! E7 C
      U. @. @, f& |( t2 U& T. j  y$ m) i' {1 g* @, h; K' ]
    摘要:针对接触式轮廓仪存在的探针沾污、探针缺陷、扫描位置不准的问题,采用半导体工艺技! z% ]/ V8 c+ s" ?$ I2 C" f
    术在硅晶圆片上制备出探针状态检查样块。该样块具有探针沾污及缺陷检查图形和探针扫描位置3 u2 [, z* v3 A) l5 D0 o
    检查图形,可实现探针针尖10个位置沾污和缺陷的检查以及偏移量为-150~150μm 内探针扫2 T* Z2 b1 I% K! P" j1 D" Y1 V
    描位置的检查。使用探针状态检查样块对一台型号为 P-6的接触式轮廓仪进行了检查,实验结1 P8 l! x$ C+ {
    果表明:该样块能够准确判断出轮廓仪存在探针缺陷和扫描位置不准的问题,进而有助于接触式3 q2 `1 d$ M* u* U1 @0 u! ~
    轮廓仪探针的故障检查和维修。
    / f+ N. Z' K, w% e" e! O5 k关键词:轮廓仪;探针沾污;探针缺陷;扫描位置;检查图形
    # n4 W$ J6 t+ s$ L6 j' g4 U. h+ G4 K, S6 {0 e. t8 K4 s
    ; d$ R% o- H7 N1 i$ c$ z: L

    接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制.pdf

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