接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制

杨利霞

接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制
. C4 f; C" Y! P$ a
7 A! y) C2 r% _1 B" d! C% c5 y
摘要：针对接触式轮廓仪存在的探针沾污、探针缺陷、扫描位置不准的问题，采用半导体工艺技
- s) u7 j" J, e) J术在硅晶圆片上制备出探针状态检查样块。该样块具有探针沾污及缺陷检查图形和探针扫描位置
检查图形，可实现探针针尖１０个位置沾污和缺陷的检查以及偏移量为－１５０～１５０μｍ 内探针扫
描位置的检查。使用探针状态检查样块对一台型号为 Ｐ－６的接触式轮廓仪进行了检查，实验结
4 r9 U/ m7 g5 V, l5 V" W果表明：该样块能够准确判断出轮廓仪存在探针缺陷和扫描位置不准的问题，进而有助于接触式
轮廓仪探针的故障检查和维修。
! _) b; B& e! V9 D$ k8 L关键词：轮廓仪；探针沾污；探针缺陷；扫描位置；检查图形

' k$ t4 i- G3 g9 D* t3 w2 t