一种便携式光学表面轮廓仪

杨利霞

一种便携式光学表面轮廓仪

摘要：研究了一种基于短相干光相移干涉法的便携式光学表面轮廓仪，分析了短相干光干涉显
微镜相移干涉技术，实现了基于该项技术的光干涉显微系统。采用光路集成化的设计方法，实
$ s/ {9 ]  R: j% f- G) q1 W! F现了一体化轮廓仪光路集成，优化了机械三维调整测量台，实现了可用于大、小口径元件表面测
; x; f& }5 |8 G  f( A9 P( A# F/ Z量的正置、倒置两种测量模式。测试结果表明，仪器的粗糙度测量精度为0．1 nm，重复性误差优
- C' a1 k8 z: Y9 `8 a于0．01 nm，横向分辨率优于1肚m。
6 C  H9 z/ z2 t) W关键词：短相干光相移干涉；表面轮廓；干涉显微镜；粗糙度
) D9 l4 X* p7 L' q9 E( \
! Y$ I/ y1 R/ L( [: K4 b
/ }# i. m; A. c) E" G7 Y