接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制

杨利霞

接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制
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, E- z! b( J, P" q% `摘要：针对接触式轮廓仪存在的探针沾污、探针缺陷、扫描位置不准的问题，采用半导体工艺技
, x: G+ x1 x0 M1 F' [术在硅晶圆片上制备出探针状态检查样块。该样块具有探针沾污及缺陷检查图形和探针扫描位置
检查图形，可实现探针针尖１０个位置沾污和缺陷的检查以及偏移量为－１５０～１５０μｍ 内探针扫
7 u4 x5 J( x% ^7 J8 f* D描位置的检查。使用探针状态检查样块对一台型号为 Ｐ－６的接触式轮廓仪进行了检查，实验结
果表明：该样块能够准确判断出轮廓仪存在探针缺陷和扫描位置不准的问题，进而有助于接触式
' b; |) _6 P+ d" G5 Z( w5 B轮廓仪探针的故障检查和维修。
关键词：轮廓仪；探针沾污；探针缺陷；扫描位置；检查图形


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