接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制

杨利霞

接触式轮廓仪探针状态检查图形样块的研制
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摘要：针对接触式轮廓仪存在的探针沾污、探针缺陷、扫描位置不准的问题，采用半导体工艺技
3 X' l9 C, V6 r术在硅晶圆片上制备出探针状态检查样块。该样块具有探针沾污及缺陷检查图形和探针扫描位置
9 R4 Y( n3 ]# x8 Y. S检查图形，可实现探针针尖１０个位置沾污和缺陷的检查以及偏移量为－１５０～１５０μｍ 内探针扫
$ R* x7 r- x5 O描位置的检查。使用探针状态检查样块对一台型号为 Ｐ－６的接触式轮廓仪进行了检查，实验结
: ?( g, g; |* c. x3 F# M* D+ A: C) w果表明：该样块能够准确判断出轮廓仪存在探针缺陷和扫描位置不准的问题，进而有助于接触式
) v8 e. k2 f& {3 V  |  _轮廓仪探针的故障检查和维修。
关键词：轮廓仪；探针沾污；探针缺陷；扫描位置；检查图形