基于解耦控制算法的 XYθ 定位平台系统研究

杨利霞

基于解耦控制算法的

XYθ

定位平台系统研究

$ v7 I' f% b* s& f9 H4 Y* u( S为减小运动定位平台
* f! k" ?4 s2 V8 XXYθ 方向的振动误差及耦合，提高平台定位精度，提出了一种基于神经
) A+ Z/ n4 _. D& C5 k网络前馈
1 H/ H2 o0 ~0 C4 U+ v, T* JPID
解耦控制算法的定位平台系统设计
。
搭建了由高性能
X、Y
: f6 V( Z2 I5 l8 _' [  [3 P方向直线电机
7 ~1 J( N; o# h、θ 方向力
矩电机驱动组成的大行程微米级定位平台与上位机系统，采用改进的神经网络前馈
PID
. r7 C! G( S0 H解耦控制
算法对运动定位平台进行定位补偿，通过传感器实时反馈定位系统终端位置，实现定位平台闭环反
( S( r; c8 ?3 W$ u# C馈控制
, j- f4 J6 }( q! i  V! e* _$ D4 W+ P。MATLAB
" Z  U! A2 R/ k; ^- L仿真及实验结果表明，改进的控制算法实现了平台的解耦控制，可较好地完成多
轴同步控制，提高系统的动态与稳态性能
。
/ Q  ^; n" _# q0 _1 e, D+ U

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