基于解耦控制算法的 XYθ 定位平台系统研究

杨利霞

基于解耦控制算法的

XYθ

定位平台系统研究

6 y$ v1 I! D' {: ^4 a2 [* b为减小运动定位平台
, {8 }5 ^  R! dXYθ 方向的振动误差及耦合，提高平台定位精度，提出了一种基于神经
网络前馈
9 E$ ^' g' a( {6 JPID
解耦控制算法的定位平台系统设计
。
% J4 [4 r0 ]% w2 X搭建了由高性能
X、Y
1 ^# N( Y6 d9 K4 c, T' K* \4 @2 g方向直线电机
# {5 x8 Z8 e' u: M  J、θ 方向力
矩电机驱动组成的大行程微米级定位平台与上位机系统，采用改进的神经网络前馈
PID
解耦控制
算法对运动定位平台进行定位补偿，通过传感器实时反馈定位系统终端位置，实现定位平台闭环反
馈控制
。MATLAB
仿真及实验结果表明，改进的控制算法实现了平台的解耦控制，可较好地完成多
* T9 v0 O( v$ n6 C+ m轴同步控制，提高系统的动态与稳态性能
: n4 ~. @' z, ?+ q# {) K$ B。


$ ]+ P. e, q4 ^# \( C+ T
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